産品展示
SWS320-全自動晶圓檢查機/分(fēn)選機/倒片機

8”-12”晶圓適用
可處理薄晶圓
可選晶圓料籃、料盒等管道裝卸料
晶圓分(fēn)選功能
晶圓倒片功能
視覺檢查功能
顯微鏡檢查功能
平臺模組化設計
工(gōng)控機+Windows系統
SECS/GEM或簡易聯網能力