産品展示
XDW282-全自動晶圓臨時解鍵合機
| 4”-8”晶圓适用 可處理薄晶圓 晶圓料籃裝卸料 自動已鍵合晶圓對準 熱拆解鍵合晶圓 鍵合膠膜機械手自動撕除 自動晶圓切割膜貼覆 晶圓智能料籃内測繪 可選嵌入式LED紫外(wài)線照射模塊 工(gōng)控機+Windows系統 SECS/GEM 或簡易聯網能力 |
| 4”-8”晶圓适用 可處理薄晶圓 晶圓料籃裝卸料 自動已鍵合晶圓對準 熱拆解鍵合晶圓 鍵合膠膜機械手自動撕除 自動晶圓切割膜貼覆 晶圓智能料籃内測繪 可選嵌入式LED紫外(wài)線照射模塊 工(gōng)控機+Windows系統 SECS/GEM 或簡易聯網能力 |
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