NTW260V-全自動晶圓真空覆膜機
4”-8”晶圓适用 可處理薄晶圓 晶圓料籃裝卸料 貝努利晶圓搬運技術 真空覆膜技術 可選高溫覆膜 雙層隔離(lí)紙(zhǐ)收卷能力 藍(lán)膜、紫外(wài)線膠膜、光刻膜、背封膜等可選 晶圓智能料籃内測繪 非接觸晶圓校正 工(gōng)控機+Windows系統 SECS/GEM 或簡易聯網能力 |
4”-8”晶圓适用 可處理薄晶圓 晶圓料籃裝卸料 貝努利晶圓搬運技術 真空覆膜技術 可選高溫覆膜 雙層隔離(lí)紙(zhǐ)收卷能力 藍(lán)膜、紫外(wài)線膠膜、光刻膜、背封膜等可選 晶圓智能料籃内測繪 非接觸晶圓校正 工(gōng)控機+Windows系統 SECS/GEM 或簡易聯網能力 |